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“干出来了！我们真特么干出来了！”
几名年轻的工程师直接抱在一起嚎啕大哭，那些上了年纪的专家则是激动得浑身发抖，互相用力拍打着对方的后背。
贺建国坐在操作台前，看着屏幕上的数字，眼中竟有些进沙子了，可是在这光刻机实验室里面哪有沙子啊！
会议室里，同样是长出了一口气。
周局长重重地把茶杯放在桌面上，连说了三个“好”字。林副部长和科技部的领导们互相击掌，脸上满是如释重负和狂喜。
“小许！”周局长转过身，一把握住许晨的手，用力摇晃了两下，“你们天宇立下大功了！华国的半导体脊梁，今天算是挺直了一截啊！”
“是大家共同努力的结果。”许晨脸上也露出了由衷的笑容。
“走，咱们下去看看这群功臣。”周局长一挥手，带领众人通过专用电梯，经过严格的除尘程序后，走进了下方的主控室。
看到高层领导和许晨走进来，实验室里的欢呼声稍微平息了一些，但众人眼中的狂热依然无法掩饰。
贺建国大步走上前来，先是向周局长等人敬了个礼，随后径直走到许晨面前，紧紧握住他的手，语气激动而郑重：“许总，谢谢你。没有你们天宇真金白银砸出来的三大件，上微电子今天就是无米之炊。你不仅救了上微，也给咱们国家的半导体工业留了底气！”
“贺总工言重了，这是国内所有科研人员共同的结晶。”许晨拍了拍贺建国的手背，随即切入正题，“贺总工，今天初光测试成功了，说明机械和光学协同没有问题。我想问个最实际的问题，这台机器，什么时候能真正量产？”
听到这个问题，周围的领导也都安静下来，看着贺建国。
贺建国收起激动，思索了片刻，严谨地回答道：“许总，初光只是证明它能用。要达到量产标准，也就是满足晶圆厂每小时曝光一百片以上、且良率达到99%的商业要求，我们还需要进行大量的疲劳测试和底层算法优化。保守估计，还需要六到八个月的时间进行量产标定。”
“八个月……”许晨点了点头，“速度很快了。贺总工，我想向上微电子预定首批下线的量产机。大概售价在多少？”
贺建国愣了一下，随即看向周局长。
周局长笑了笑：“小许，你这动作够快的。别人还没见到真机，你连订单都准备下了。”
“周局长，天宇不能光造车。未来的汽车就是带轮子的超级计算机，算力芯片、电源管理芯片、碳化硅功率器件，用量极大。而且我们还要布局消费电子领域。”许晨认真地说道，“把芯片的命脉交在别人手里，我睡不安稳，我打算自己建一座晶圆厂，从65纳米工艺开始，先把基础的车规级芯片和电控芯片的自研自产给解决掉。”
轩辕半导体厂区的光刻机制程没有这么高。
“有魄力。建一座晶圆厂，这又是上百亿的投资。”林副部长赞赏地点了点头。
贺建国此时开口道：“许总，因为三大核心部件都是你们天宇投资的国内企业提供的，省去了极高的进口溢价和专利费。这台65纳米干式光刻机的整体造价，目前核算下来大概在1.2亿人民币左右。如果后期规模化量产，价格还能进一步下探。比从国外买便宜了一半还要多。”
“1.2亿，非常合理。”许晨当即拍板，“陈立峰，等会和上微电子对接一下，首批先定两台。我们马上启动天宇晶圆厂的选址和厂房建设，等你们机器下线，我们的厂房刚好能接收入驻。”
“没问题许总！”陈立峰立刻应下。
“小许啊，你这执行力，确实让很多老一辈的企业家都汗颜。”周局长看着许晨，随后神色变得严肃起来，“不过，今天初光测试成功这件事，国家层面不会进行任何对外的宣扬，甚至连内部的简报都会严格控制知密范围。”
许晨心领神会地点了点头：“我明白。闷声发大财。现在我们只是解决了65纳米，虽然跨过了门槛，但和西方最先进的工艺比，还有很大的差距。现在大张旗鼓地宣扬，只会引来毫无意义的技术封锁和原材料禁运。”
“你明白就好。”周局长眼中闪过一丝欣慰，“西方的封锁一直都在，我们现在的策略就是‘深挖洞，广积粮’。65纳米只是基础。接下来，我们要在这台干式机的基础上，加入水冷浸没系统，直接向28纳米浸没式光刻机冲锋！等到我们真正掌握了28纳米，甚至拥有了能通过多重曝光达到14nm工艺的时候，才是我们真正向外界亮剑的日子。”
“这期间，需要天宇和上微电子，以及全国的半导体产业链继续保持静默，咬牙苦干。”林副部长在一旁补充道。
“各位领导放心，天宇集团分得清轻重。”许晨郑重表态，随后提出了自己的诉求，“光刻机造出来了，但上游的生态同样关键。高端光刻胶、电子级高纯度化学试剂、精密流体控制阀门，还有EDA设计软件。这些我们依然受制于人。接下来，我会继续通过晨宇资本，加大对这些国内上下游供应链的投资和技术扶持。”
许晨看着周局长和林副部长：“不过，涉及到很多化工原材料的审批、基础科学研究所的对接，仅靠企业的力量推进太慢。我希望在这方面，能得到国家和各部委的政策绿灯。”
“这个你完全不用担心。”周局长毫不犹豫地答应下来，“你们出资金、出市场，国家出政策、出资源。回去之后，我会联合科技部、工信部专门成立一个协调小组，天宇投资的半导体相关产业链，所有审批特事特办。”
老李也笑着插话道：“小许，你这次可是给国家立了天大的功劳。我们这几个老家伙刚才在楼上商量过了，不能让做事的人既出钱又吃亏。回去之后，我们会给上面打报告。”
“天宇集团不仅要拿到国家最高级别的国家重点高新技术企业名头，相关的企业所得税减免、重大科研项目资金补贴，一个都不会少。你不是要建晶圆厂吗？用地的审批和基础水电配套，发改委那边我亲自去打招呼，保证给你用最快的速度批下来！”
“那我多谢各位领导的厚爱了。”许晨笑着回应。
众人相视大笑，主控室里的气氛融洽而振奋。
......